真空装置向け板金部品
真空部品は、産業用の部品と違い美観にすごく厳しいです。
今回ご紹介する部品などは、５ｍ先から目視で確認した際、擦り傷や曇り等があれば受け取っていただけない製品になります。
理由は、部品によって様々です。
①装置内に入る部品で、傷１つで装置の性能を左右する。
②産業部品と比べ内部の機能含め高額装置となるためブランド価値を上げるため。
③クリーンブースでの使用を想定しており、汚れの付着などを最小限にするため。
輝いているのがお分かりいただけるでしょうか？
溶接はＴＩＧ溶接でおこなっております。
気密性は必要なので溶接後、漏れ試験（ヘリウムリークディテクターでの試験）をおこなっております。
板金構造なので板厚が薄く、熱影響を最小限に抑えた溶接をしております。
※真空部品とは、真空装置に使われる部品で真空中で成膜やエッチングなどをおこなう装置に使用されるモノを指します。成膜とは、液晶パネルや半導体部品の製造において必要な工程です。
※クリーンブースとは、２０１５年１０月から放送中の『下町ロケット』でも出てくる、ホコリが極限まで少ない環境下の部屋を指します。維持管理が大変です。
